故障解析

【不良解析(SEM関連)】

不良解析手法の提案、解析、原因推定など対応いたします。

実装品、IC含めた様々な不良モードに対応可能。

まずはお気軽にお問い合わせ下さい。

 

 

参考例

発光解析などにて特定した箇所の除膜追跡(配線層の除膜→SEM観察)

※実際は低加速での観察にて各配線層、コンタクトのOPENの評価を行います。

 

 【不良解析(TEM関連)】

不良解析手法の提案、解析、原因推定など対応いたします。

実装品、IC含めた様々な不良モードに対応可能。

まずはお気軽にお問い合わせ下さい。

参考例

平面TEM評価により絞り込んだ不良箇所での断面TEM解析実施